Pomiar osadzania cienkich warstw
QPM60 – MONITOR / KONTROLER PROCESU OSADZANIA
Jako alternatywę dla monitora opartego na PC, EDF oferuje monitor montowany w szafie. Wielokanałowy monitor QPM60 służy do pomiaru szybkości i grubości w procesach osadzania cienkich warstw. Interaktywny ekran dotykowy TFT umożliwia intuicyjną obsługę i zapewnia wykresy czasowe dla szczegółowej kontroli procesu.
QPM jest dostępny w 3 wersjach:
QM20 – MONITOR PROCESU OSADZANIA
EDFelectronics oferuje tak zwane komputerowe mierniki grubości serii QM20, które łączą w sobie funkcjonalność oscylatora i przetwornika pomiarowego. Wszystkie monitory są instalowane pomiędzy głowicą czujnika a nadrzędną jednostką sterującą (np. PC lub PLC) w atmosferze. Przetwornik dostarcza informacje o częstotliwości kwarcu, szybkości, grubości i stanie kryształu za pośrednictwem jednego z interfejsów szerewgowych, takich jak RS232, RS485, USB lub PoE. Seria monitorów QM20 jest dostępna w standardowej i wysokiej rozdzielczości.
QM20 jest dostępny w 8 wersjach:
